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瓦里安Turbo-V801分子泵维修Varian 复合涡轮泵保养，Varian Turbo-V801瓦里安涡轮分子泵进气法兰口ISO160-F,出气法兰口KF25,分别抽速可达到680 L/s ，转速为38000rpm，对应的控制器为：Varian Turbo-V801,

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该泵为无油、无污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置工作而不对材料施加应力。典型的 MTTF 超过 250000 小时。

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aglient TV301分子泵

Agilent TV301 Navigator分子泵为无油、无污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置工作而不会对材料施加应力。

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在分子泵刚刚开始工作的阶段，由于有大量的气体由进气口被抽到排气口，所以这种返流对实际抽速带来的影响不是很大，而随着进气口压力的下降，分子泵抽下来的气体量在减少，这时，气体返流对抽速的影响也就大起来了。这就是分子泵对小分子气体，特别是氢气的抽气能力较差的原因。

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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。